低㎡紫外激光器在微电子材料的微加工中的应用优势
发布者：深圳市迅板科技有限公司 发布时间：2015-06-25
移动设备例如智能手机和平板电脑正在以迅猛的速度增长。由于移动设备变得越来越小，速度越来越快，重量越来越轻，价格越来越便宜，同时也越来越多功能，并且更复杂，因而零部件的制造也向小型化和精密化发展。对于一些关键的零部件，如半导体芯片、微电子封装、触摸显示屏和印刷电路板（PCBs），它们将继续面临挑战，例如提高良品率和生产率，同时还要降低成本。这推动了激光在移动设备制造中的广泛应用。由于设备日益复杂，因而需要更多和更复杂的制造工艺，同时对激光光源的研究进展也提出了更高要求。
用波长和脉冲宽度更短以及低的M2（光束质量）的激光器能创造一个聚焦更集中的光斑，并能保持最小的热影响区（HAZ），从而实现更精密的微加工。高的能量吸收，尤其是在紫外（UV）波长和短脉冲范围，材料将被迅速汽化，从而减少热影响区和炭化。较小的聚焦光斑可以实现精度较高、尺寸较小的加工。高功率、高脉冲重复频率（PRF）、脉冲整形和脉冲分裂都可以为提高微加工的生产率做出贡献。持续的较高的脉冲稳定性能确保过程的可重复性，帮助实现更高的良品率。
传统的紫外Q开关二极管泵浦固体（DPSS）激光器能合理地满足精密制造的要求，但是它们在实现更高的加工速度和较高的微加工质量方面还有所欠缺。提高加工速度的常用方法是在保持其他工艺参数不变的同时提高激光的脉冲重复频率。然而，对于典型的Q开关DPSS激光器来说，这是不可能实现的。这些激光器的平均功率和脉冲能量会随着脉冲重复频率的增加而迅速下降。此外，在脉冲重复频率较高时，激光脉冲宽度和脉冲能量波动往往会大幅增加。
将紫外激光用于多种常见的微电子材料（包括硅、陶瓷、玻璃、铜）的大批量加工，可以带来很多益处。通过扩大工艺参数空间（在较高的脉冲重复频率下提高功率），再加上先进的脉冲分裂和整形技术，我们可以在提高加工速度的同时获得微加工质量的提升。通过适当的参数优化，使用这种新的紫外纳秒脉冲激光源可以获得更好的质量和更高的生产率，从而提升如今激光微加工的能力，以面对未来对于消费类电子产品制造提出的更高挑战
